




型 號
產(chǎn)品時間2026-07-01
所屬分類高溫老化試驗箱
報價7500
荊州高溫老化烤箱 簡介:
加工半導(dǎo)體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
智能無塵烤箱可以使用TCP / IP(使用HSMS標(biāo)準(zhǔn),SEMI E37)或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。
箱體結(jié)構(gòu):
1、烘箱總體由箱體部分,氣控制柜部分,加熱部分,風(fēng)道部分,塵埃物過濾部分,進氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實用。
2、外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,
內(nèi)膽材料:采SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔的防止了機臺本身灰塵的產(chǎn)生。
3、保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級保溫板填充,的防止了熱能浪費。
4、熱部分:采用覆套式熱器(SHEATHED HEATER)無塵無氧化熱發(fā)生器
5、風(fēng)道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng) H.E.P.A,(特殊風(fēng)道設(shè)計)過濾效果可達99.99%,Class100;
產(chǎn)品特點:
1.內(nèi)材質(zhì)為熱變形量小的SUS鏡面不銹鋼,外材質(zhì)為SECC鋼板靜噴粉烤漆處理,美觀大方。
2.保溫材質(zhì):纖維棉,隔熱性好, 大限度地溫度保溫性。
3.防密之迫緊材質(zhì)為耐高溫硅膠可長時間承受高溫而不變形龜裂
4.發(fā)熱材質(zhì):為蜂窩式防腐蝕耐酸堿不銹鋼發(fā)熱器,無污染不起塵且使用壽命長
5.溫度控制為PID微腦自動演算智能溫控表,PV/SV同時顯示。
6.感溫入力CA(K)TYPE感溫頭,輸出為12V
7.計時器:子數(shù)碼0~9999顯示(S.M.H可切換)溫到計時,時間到切斷加源,報警器聲光報警,工作時間的。
8.內(nèi)置強制送風(fēng)循環(huán)
9.耐高溫長軸馬達,渦輪風(fēng)扇。
10.流控制器為采用可控硅固態(tài)繼器(SSR)無接點無火花現(xiàn)象出現(xiàn),安全又保持流的性,通過溫控器 信號自動調(diào)節(jié)輸出比例。
11 超高溫保護:當(dāng)箱內(nèi)溫升異常時,自動切斷整機源。
12.馬達過熱保護:防止機過熱造成機損傷。
13.相序保護:防止力缺相和相序錯誤,機的安全。
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
1.名稱及型號:無塵烘箱 GT-TK-180
2.主要技術(shù)指標(biāo):
1.無塵等級:Class 100;
2.溫度范圍: 60~200℃(300℃);
3.溫度均勻度:200℃±3℃;
4.溫度波動度:±0.5℃(空載)
5.溫控精度:±0.1℃;
6.烘箱擱板為活動形式。
7.工作尺寸:W600×H600×D500
外形尺寸:W950×H1510×D1240
8.源:380v , 50Hz,5.5Kw
荊州高溫老化烤箱 器控制:
1、雙數(shù)顯PID智能溫控器主控
2、監(jiān)控儀測溫,超溫保護路監(jiān)控設(shè)備整體運行狀況,保障設(shè)備及烘干物料的安全
3、采用SSR固態(tài)繼器通斷控制加熱器升溫
4、配0秒-99.99小時計時器,可進行直接計時或到溫計時,時間到自動切斷加熱并報警
5、鼓風(fēng)加熱連鎖保護路,即先鼓風(fēng)后加熱防止加熱器干燒
6、相序保護器防止相序接反或缺相造成風(fēng)機反轉(zhuǎn)工作異常
7、加熱斷路器防止加熱路過載及短路造成意外
8、風(fēng)機、控制路斷路器防止風(fēng)機、控制路過載及短路造成意外
9、溫度記錄儀實時記錄工作區(qū)溫度曲線,用于分析物料烘烤工藝流程(選配